APVV-14-0072  (07/2015 - 06/2019)

Názov projektu: MEMS štruktúry na báze poddajných mechanizmov

Zodpovedný riešiteľ projektu: doc. Ing. René Harťanský, PhD.

 

Anotácia:

Projekt je zameraný na analýzu, syntézu a konštrukciu elektromechanických snímačov na báze MEMS s možnosťou bezvodičového prenosu informácií o snímanej veličine. Riešenie projektu sa sústredí na skúmanie vhodnej topológie štruktúr najmä v súvislosti s návrhom požadovaných parametrov MEMS snímačov. Komplexný návrh zahrňuje paralelný návrh tak mechanickej ako aj elektrickej časti snímača. Pri mechanickom návrhu bude dôraz kladený najmä na analýzu modeľovanie a linearizáciu vlastností MEMS štruktúry. V elektrickej oblasti sa riešenie projektu sústredí na analyzovanie vhodného elektromagnetického deja na prenos informácií a doplnenie snímača elektrickými prvkami tak, aby nedoslo k znehodnoteniu požadovaných mechanických vlastností. V elektrickej oblasti sa bude prihliadať na mechanickú topológiu MEMS štruktúry s jej priamym využitím pre aplikovanie elektrických prvkov

 

Vedecké ciele projektu:

Cieľom projektu je rozpracovanie a implementácia metód návrhu pružných štruktúr MEMS s možnosťou bezkontaktného (bezvodičového) prenosu snímaných signálov a energií tak, aby vytvorené snímače fyzikálnych veličín boli realizovateľné v komerčných podmienkach trhu v SR a použiteľné v prevádzkach so špeciálnymi požiadavkami na vlastnosti snímačov (metrologické parametre, minimálne parazitné vlastnosti, atd.)